FINEPLACER® pico 2 - 多目的ダイボンダー
FINEPLACER® pico 2は、3 µm以内の搭載精度を持つ、多目的ダイボンダーです。迅速なセットアップと簡単な操作で、企業の研究室や大学での迅速かつ柔軟な製品開発やプロトタイプ作成に最適です。
FINEPLACER® femto 2 - 高精度全自動ダイボンディング装置
FINEPLACER® femto 2ダイボンダーは、精密な大型ワークステージ、大型デバイス用3Dハンドリング、拡張FOV、UHDビジョンシステム、マルチカラー照明を搭載しています。システムの特徴として、プロセスガスエンクロージャ、低荷重から高荷重対応、局所的クリーンルーム環境などがあります。
FINEPLACER® femto 2 - ハンドリング&ディスペンスモジュール
5ミクロンの精度とオートアライメントを実現した多段チップ配置アプリケーションです。 ソートやアシストプロセスにも対応しています。ハンドリングモジュールは、制御された荷重でダイをピックアップし、デバイスを回転させて搭載します。ディスペンサーモジュールにより、接着剤やペーストの塗布が可能です。